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- 產品名稱：立式8吋快速退火爐
- 產品型號：YY8H---快速退火爐
- 產品展商：燕園科技
- 產品文檔：無相關文檔
簡單介紹
YY8H-3-08系列自立式8吋快速退火爐采用紅外輻射加熱技術，可實現(xiàn)大尺寸樣品(8英寸)快速升溫和降溫，可用于快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等半導體工藝。
產品描述
產品特點：
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可測大尺寸樣品：可測單晶片樣品的尺寸為1-8英寸。
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壓力控制系統(tǒng)研發(fā)設計：高精度控制壓力，以滿足不同的工藝要求。
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存儲熱處理工藝：方便工藝參數(shù)調取，提高實驗效率，數(shù)據(jù)可查詢。
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快速升溫：極限升溫速率可達150℃/s。
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程序設定與氣路擴展：可實現(xiàn)不同溫度段的控制，進行降溫段的自動轉接，并能夠對工藝菜單進行保存，方便調用。采用MFC及時控制氣體流量，至多可支持6路氣體，實現(xiàn)不同氣氛環(huán)境（真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等）下的熱處理。
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全自動智能控制：采用全自動智能控制，包括溫度、時間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實現(xiàn)自動控制。
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超高防護系數(shù)：采用爐門本身溫度開啟保護、溫控器開啟權限保護以及設備急停保護三重防護措施，全方位保障設備使用無誤。
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分區(qū)控溫：分區(qū)域控制加熱功率，提高溫度均勻性。
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國產退火爐：擁有自主研發(fā)技術和制造能力，能快速反應客戶售后需求。